4-1528-01 晶圆热ChuckΦ4黑色氧化铝 PH201S-04
实验室仪器

4-1528-01 晶圆热ChuckΦ4黑色氧化铝 PH201S-04

型号: 4-1528-01
品牌: MSA FACTORY
分类: 实验室仪器

产品描述

产品型号: 4-1528-01产品品牌: MSA FACTORY 功能 统一加热晶片和玻璃基板等超薄工件。 工 […]

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产品详细内容

产品型号: 4-1528-01
产品品牌: MSA FACTORY

功能

  • 统一加热晶片和玻璃基板等超薄工件。
  • 工件可通过真空抽吸固定。
  • 使用附带的温度控制器可以进行精确的温度控制。

规格

  • 板材尺寸:Φ4英寸
  • 表面处理:黑色矾土
  • > 热卡盘零件<
  • 可笑尺寸:Φ2至4英寸
  • 温度控制范围:R.T.至200°C
  • 温度精度:±1.5%
  • 电源容量:400 W
  • 尺寸:140 x 170 x 50.5公厘
  • 重量:约3公斤
  • > 温度控制器<
  • 电源:AC100V 50/60 Hz
  • 尺寸:98 x 156 x 101公厘
  • 重量:约1.3公斤
  • *需要单 的真空泵(推荐的泵示例:1 -9197-02隔膜式干真空泵DAP -12 S)。

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