产品详细内容
产品型号: 61-6983-18
产品品牌: SIGMAKOKI CO., LTD.
功能
- Automatic rotation stage for micro-angle adjustment used for alignment of semiconductor wafer markers, etc.
- Ideal for applications such as automatic alignment devices that adjust minute rotation angles for each sample.
- The use of ball screws in the drive mechanism reduces wear and rattling of parts and achieves high durability.
- Since the linear motion of the ball screw is converted to the rotational motion by the steel belt, the resolution and rotational speed do not differ between the stroke center and the stroke end.
- The HDS series origin sensor is located near the stroke center (0°).
- * Use the HDS series in a horizontal plane.
- * Performance cannot be guaranteed when the watch is mounted on a vertical surface or on an inverted surface.
规格
- [>高耐久性自动旋转工作台<> 通用规格]
- 马达类型:HDS-60YAW:5相步进马达0.66/相(玉川精器(株式会社。))、HDS-80YAW、HDS-120YAW:5相步进马达0.75A/相(东方马达(株式会社))
- 马达产品编号:HDS-60YAW:TS3664N4 (□ 24 mm) 、HDS-80YAW、HDS-120YAW:C9863-90215P (□ 28 mm)
- 马达步进角度:0.72°
- 感测器电源电压:DC 5-24V±10%
- 感测器耗电量:60mA以下 (每个感测器20mA以下)
- 感测器控制输出:NPN开路收集器输出DC30V以下50mA以下
- 传感器输出逻辑:阴影时:输出晶体管关闭 (非导通) :限制传感器，阴影时:输出晶体管打开 (导通) :原点传感器
- 相容驱动程式:SG-5M、SG-5MA、SG-55M、SG-55MA、SG-514MSC
- 相容控制器:GSC-01、GIP-101、GSC-02、SHOT-702、SHOT-302GS、SHOT-304GS、HIT-M、HIT-S、PGC-04
- 【个别规格】
- 旋转范围:±5°
- 表面积:φ60mm
- 移动机构:滚珠丝杠+钢带
- 移动导轨:轴承系统
- 舞台上方材质:铝
- 表面处理:黑色阳极氧化物
- 质量:0.5公斤
- 解析度 (完整) :大约0.0053°/脉冲
- 解析度 (一半) :大约0.0027°/脉冲
- 最高速度:每秒60°
- 定位精度:0.05度
- 可重复定位精度:0.003度
- 承受负载:29.4N (3.0kgf)
- 瞬时刚度:1′′/N·cm
- 消失的运动:0.003度
- 间隙:0.05度
- 平行:50μm
- 浓度:10μm (在±5°范围内)
- 摆动:0.01μm (在±5°范围内)
- 传感器产品编号:微光传感器:GP1S097HCZ (夏普公司)
- 限制感应器:可用 (正常关闭)
- 原点传感器:可用 (正常开启)
- 接近原点传感器:否
- 符合CE标准的产品
- 符合RoHS标准的产品
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