3-5064-01 质量流量控制器10SCCM-Air C1005
理化检测

3-5064-01 质量流量控制器10SCCM-Air C1005

型号: 3-5064-01
分类: 理化检测

产品描述

产品型号: 3-5064-01 功能 采用不易受外部温度影响的热流传感器。 限制启动时的涌流现象。 规格 型号 […]

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产品详细内容

产品型号: 3-5064-01

功能

  • 采用不易受外部温度影响的热流传感器。
  • 限制启动时的涌流现象。

规格

  • 型号:C1005
  • 全比例流量-气体类型:10SCCM-Air
  • 气体类型:空气
  • 流量准确度:+/- 2% FS (精度保证范围:15 -35°C)
  • 回应:6秒
  • 流量控制范围:5~100% FS
  • 输入和输出:模拟信号 (0-5VDC)
  • 阀门类型:N/O正常开启
  • 再现性:+/- 0.2% FS
  • 操作压力范围:50至300kPa
  • 耐压:1MPa (G)
  • 外漏率:1 x 10-7 Pa, m 3/sec (He) 或更低
  • 气体接触单元材料:不锈钢 (SUS316) 、PTFE、氟橡胶
  • 连接:等于1/4 in。SWL
  • 电源:+15VDC +/- 5% 60mA,-15VDC +/- 5% 150mA
  • 通讯系统:类比0-5VDC (D-Sub9Pin连接器)
  • 尺寸:127 x 25.5 x 100公厘

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