产品详细内容
产品型号: 3-5267-01
产品品牌: ULVAC, Inc.
功能
- 所需的装置以紧凑的方式配置在底座上,使系统适合于清洁的真空 。
规格
- 型号:VPT-060
- 尺寸 (公厘) :340 x 340 x 355
- 重量 (公斤) :17
- 达到压力:10^-5 Pa范围
- 主泵涡轮分子泵 (风冷) 60 L/sec
- 辅助泵:隔膜式干式真空泵20L/min
- 所需电量:单相100V0.3kVA
- 入口:ISO63
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