爱发科日本CRYO-U16 进口低温泵 CRYO-U 系列 产品型号：CRYO-U16 产品品牌：日本爱发科ulvac 产品简介： CRYO-U系列是使用2级GM制冷机的低温泵，可进行高真空排​​气。 根据FPD、半导体、电子设备、光学、研发等用途，有从小型到大型的多种产品可供选择。 特征适用于中、大型设备。适用于批量型大型沉积系统。耐热负荷。 产品介绍. 爱发科日本CRYO-U16 进口低温泵 CRYO-U 系列 抽气速度(20℃) 氮 升/秒 5,000 氢 10,000 氩气 4,200 水 16,000 极限压力 帕(托) 10 -7 (10 -9 ) 流速 氩气 帕・升/秒(托・升/秒) 1.4×10 3 (11.0) 氢 4.1×102 （ 3.1） 泵送能力 氩气 帕・升(托・升) 4.3×10 8 (3.3×10 6 ) 氢 2.4×106 （ 1.8× 104） 冷却时间 （电源循环） 小值(Hz) 110/100(50/60) 安装法兰 UVG-400 压缩机组 C30VRT 重量 公斤 61.0