① 1次フィルタ 5層構造のポリプロピレン不織布製フィルタです。各層の通気性を変えることにより目詰まりしにくく、45μmの粒子では95%以上捕集できます。5層構造のため、全体強度が強く紙パックのように簡単に破れることはありません。 ② 2次フィルタ プリーツ折に成形したポリプロピレン不織布製のフィルタです。外枠はABS樹脂製です。捕集効率は0.3μmで99%以上となっています。 ③ 排気フィルタ 2次フィルタと同じフィルタを使用しており、1次フィルタ、2次フィルタで捕集されなかった粒子を捕集します。さらにファンモータ室で発塵した微粒子の捕集効果もあります。捕集効率は0.3μmで99%以上となっており、クリーンクラス100,000～10,000の環境に設置が可能です。 排気側にHEPAフィルタ（捕集効率：0.3μm 99.97％以上）を装着した-V1 では、クリーンクラス1,000（※工場出荷時検査）に対応可能です。